SOI ダイオード方式非冷却 赤外線イメージセンサ／三菱電機株式会社［全4頁］

映像情報インダストリアル 編

380円（税込）

産業開発機構株式会社

非冷却赤外線イメージセンサは、シリコン基板上に断熱構造を有する画素を2次元アレイとし
て形成したものであり、赤外線を吸収する吸収体と温度センサから構成された温度検知部で、赤外線の入射により発生する微小な温度変化を検知する。われわれが開発を行う非冷却赤外線イメージセンサは、SO（I Silicon on insulator）ダイオード方式という方式を採用している。
この方式は、温度センサ部にシリコン単結晶からなるダイオードを使用しており、感度均一性が優れた特徴を有している。