赤外マクロ、ミクロ MEMS 基板 非破壊観察装置「IR-MEMS Inspector」／株式会社モリテックス［全5頁］

映像情報インダストリアル編集部

380円（税込）

産業開発機構株式会社

本稿では、MEMS基板を非破壊で、ウエハ全面のマクロ観察からデバイスレベルのミクロ観察まで1台で行うことができる、赤外線透過観察装置「IR-MEMS Inspector」を紹介する。